МОСКВА, 24 июл - ПРАЙМ. Ученые "Росатома" разработали технологию изготовления особо чистого гексафторида вольфрама - вещества, важного для микроэлектроники, которое Россия сейчас поставляет из-за рубежа, сообщила атомная госкорпорация.
"Сотрудники Научно-исследовательского института научно-производственного объединения "Луч" (АО "НИИ НПО "Луч", Подольск, входит в научный дивизион "Росатома") разработали технологию и аппаратурно-технологическую схему изготовления особо чистого гексафторида вольфрама. В период с 2023 по 2024 год работа проводилась в рамках государственного контракта с Минпромторгом России. Создание нового участка для производства гексафторида вольфрама в России направлено на импортозамещение, достижение технологической независимости (пока страна не может обходиться без зарубежных поставок этого важного химического вещества)", - говорится в сообщении.
Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии (водородное восстановление, химические транспортные реакции).
Сейчас идут работы по проектированию первого в России производственного участка по выпуску особо чистого гексафторида вольфрама. Он будет включать полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства этого вещества, отмечает "Росатом".